1.真空斷路器真空泡真空度降低
真空斷路器在真空泡內開斷電流并進行滅弧。由于真空斷路器本身沒有定性、定量監測真空度特性的裝置，所以真空度降低，故障不易被發現，其危險程度遠遠大于其它顯性故障。出現真空度降低的主要原因有：真空泡內波形管的材質或制作工藝存在問題，多次操作后出現漏點;真空泡的材質或制作工藝存在問題，真空泡本身存在微小漏點;分體式真空斷路器在操作時，由于操作連桿的距離比較大，直接影響真空斷路器的同期、彈跳、超行程等特性，使真空度降低的速度加快。真空度降低將嚴重影響真空斷路器開斷電流的能力和使用壽命，在真空度比較低時還會引起真空斷路器的爆炸，所以在進行真空斷斷路器定期檢修時，必須使用真空測試儀對真空泡進行真空度的定性測試，確保真空泡具有一定的真空度;當真空度降低時，必須更換真空泡，并做好行程、同期、彈跳等特性試驗。
2.真空斷路器合閘失靈
真空斷路器拒絕合閘，有四個方面的原因：線路上有故障;操作不當;操作、合閘電源問題或電氣二次回路故障;斷路器本體傳動機構和操動機構的機械故障。處理斷路器拒絕合閘故障，必須善于區分故障范圍先判定是否斷路器合于預伏故障線路上引起跳閘，可從合閘操作時有無短路電流引起的表計指示沖擊擺動及有無照明燈突然變暗，電壓表指示突然下降來判斷。如判明線路有故障，隔離故障區域后再投斷路器。判明是否屬于操作不當，應檢查有無裝合閘保險，控制開關是否復位過快或未到位以及轉換開關是否位置正確等。檢查操作合閘電源電壓是否過高或過低，檢查操作合閘保險是否熔斷或接觸不良，檢查控制開關及輔助觸頭是否接觸不良，回路是否斷線或接線錯誤。檢查操動機構是否卡死，輔助觸頭和機構調整是否不當。一般是操作機構連接部件的間隙不合格造成的，需要檢查并更換新的高硬度的合格零件。
3.真空斷路器分閘失靈
根據故障原因的不同可分為：真空斷路器遠方遙控操作分閘;但真空斷路器不能斷開。其原因有：分閘操作回路斷線;分閘線圈斷線;操作電源電壓降低;分閘線圈短路，分閘能力降低;分閘頂桿變形，分閘時存在卡澀現象等。如果分閘失靈發生在事故時，將導致事故的擴大。所以運行人員若發現分合閘指示燈不亮，應及時檢查分合閘回路是否斷線;檢修人員在停電檢修時應注意測量分閘線圈的電阻，檢查分閘頂桿是否變形;如果分閘頂桿的材質為銅質應更換為鋼質;必須進行低電壓分合閘試驗，以保證真空斷路器性能可靠。
4.真空斷路器彈簧操作機構合閘儲能回路故障
彈簧操作機構合閘儲能回路故障的現象有：合閘后無法實現分閘操作;儲能電機運轉不停止等。其原因主要是行程開關安裝位置的偏上或偏下，以及行程開關是否損壞。在合閘儲能不到位的情況下，若線路發生事故，而真空斷路器拒分閘，將會導致事故越級，擴大事故范圍;如儲能電機損壞，則真空斷路器無法實現分合閘。運行人員在倒閘操作時，應注意觀察合閘儲能指示燈，以判斷合閘儲能情況。如出現上述故障時，應調整行程開關的位置，實現電機準確斷電或更換已損壞的行程開關。檢修人員在檢修工作結束后，應就地進行2次分合閘操作，以確定真空斷路器在良好狀態。
5.真空斷路器分合閘不同期，彈跳數值大
此故障為隱性故障，必須通過特性測試儀的測量才能得出有關數據。出現這種故障的原因有：真空斷路器本體機械性能較差，多次操作后，由于機械原因導致不同期，彈跳數值偏大;分體式斷路器由于操作桿距離較大，分閘力傳到觸頭時，各相之間存在偏差，導致不同期、彈跳數值偏大。如果不同期或彈跳數值偏大，都會嚴重影響真空斷路器開斷電流能力，影響真空斷路器的使用壽命。由于分體式真空斷路器存在諸多故障隱患，在更換真空斷路器時應使用一體式真空斷路器;定期檢修工作時必須使用特性測試儀進行有關特性測試，及時發現問題。通過對真空斷路器的常見故障分析及處理經驗總結，可以更好的指導動力廠做好真空斷路器運行、維護、檢修等工作，保證真空斷路器的安全、可靠運行。
6.其它故障
斷路器機構儲能后，儲能電機不停，此時應調整行程開關安裝位置，使得搖臂在高位置時能將行程開關常閉接點打開;斷路器直流電阻增大。此時需要調整滅弧室觸頭開距和超行程;斷路器合閘彈跳時間增大。可以適當增大觸頭彈簧的初壓力或更換觸頭彈簧;若拐臂、軸銷間隙超過0.3mm，可更換拐臂、軸銷;調整傳動機構，利用機構在合閘位置超過主動臂死點時傳動比很少的特點;將機構向靠近死點方向調整，可減小觸頭合閘彈跳;斷路器中間箱CT表面對支架放電;斷路器滅弧室不能斷開。通常是由于滅弧室真空度下降，滅弧室內絕緣下降，耐壓不合格所造成的。
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